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              淨化工程要控制溫溼度具體措施有哪些?

              時間: 2021-10-28 08:02:39來源: 無錫爱游戏买球淨化設備有限公司

              淨化工程要控制溫溼度具體措施有哪些?

              淨化工程潔淨室的溫溼度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人的舒適感。隨着空氣潔淨度要求的提,工藝對溫溼度的要求也越來越高,達到定的溫溼度等。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作爲掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹係數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以有±0.1度的恆溫,同時要求溼度值般較低,因爲人出汗以後,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

              溼度過高產生的問題更多。相對溼度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對溼度在50%時易生鏽。淨化工程要控制溫溼度具體有什麼措施?

              然而對於大部分潔淨空間,爲了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高於外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持般應符合以下原則:

              1.潔淨度別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度別低的空間的壓力。

              2.相通潔淨室之間的門要開向潔淨度別高的房間。

              3.潔淨空間的壓力要高於非潔淨空間的壓力。

              壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。

              對於亂流潔淨室由於主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;

              1.送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。

              2.吹過水平面的氣流速度(例如側送時迴流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這速度般不宜大幹0.2m/s。

              淨化工程

              keyword:淨化工程

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